Wat is Chemical Vapor Deposition (CVD)?

CVD ofwel de afkorting voor Chemical Vapor Deposition is een coatingtechniek vanuit de gasfase meestal uitgevoerd bij verhoogde temperatuur of of ondersteund en/of geactiveerd door een gasplasma.De reactanten, ofwel precursors, genoemd zijn gasvormig of worden vanuit een vaste stof of vloeistof verdampt en in de reactorruimte gebracht. Deze gassen dissociŽren en reageren vlak boven en op het produktoppervlak,waarbij zich een coating op het oppervlak vormt.

Een schematische representatie van CVD,de dissociatie en de daarop volgende reactie ontstaat door verhoogde temperatuur.

In het eenvoudigste geval wordt een coating gewoonlijk in een geloten ovenruimte ofwel reactorvat bij verhoogde temperatuur gevormd en heet dat thermische CVD. In het tweede geval noemen we het plasma assisted CVD afgekort PA-CVD. Nieuwere CVD technieken maken gebruik van lasers die de energie levern om de coatingreactie op gang te brengen.Er bestaat tevens een onderscheid tussen lage(low)druk( pressure) chemical vapor deposition (LP-CVD) en atmosferische (atmospheric) druk(pressure) CVD(AP-CVD). Iedere techniek geeft weer andere coating eigenschappen, alhoewel vaak dezelde coating wordt afgezet.

Het enorme voordeel van CVD is dat het produkt altijd als het ware omspoelt door reactief gas waardoor de coating in kleine holten gaten en hoeken kan worden afgezet waardoor een dichte gesloten meestal keramische coating slijtvaste,corrosiebestendige en soms hittebestendige coating op het produkt kan worden afgezet.

Anders dan bij PVD kunnen ook lange gaten, vaak in verhoudingen diameter/lengte van 1:20 en soms 1:40 ,worden voorzien van coatingen terwijl bij PVD soms slecht verhoudingen van 1:2 kunnen worden bereikt.

Per produkt moeten echter de juiste procesparameter worden vastgesteld:

De belangrijkste parameters zijn algemeen:


Coatingen die kunnen worden afgezet met CVD op diverse materialen zoals Staal,Aluminium,Silicium ,Glas,Quarts en Keramiek zijn:

Al2O3,SiO2,TiO2,ZrO,SixNy,TiNxCy,AlN,CrxCy,HfC en SiC

Met uitzondering van Aluminium en glas kan SiC specifiek worden afgezet op staal!!